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產(chǎn)品名稱： 等離子清洗機(jī)

描述：雅馬拓等離子清洗機(jī)PDC200：適用于研究開發(fā)的小型等離子清洗ji。均勻性高的電極構(gòu)造。操作簡單的觸摸屏控制器。

更新時間：2024-06-15
產(chǎn)品型號：PDC200
產(chǎn)品廠地：上海市
訪問次數(shù)：932

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產(chǎn)品介紹

雅馬拓等離子清洗機(jī)PDC200產(chǎn)品信息：
適用于研究開發(fā)的小型等離子清洗儀器。均勻性高的電極構(gòu)造。操作簡單的觸摸屏控制器。
高頻輸出300W（PDC200型）/500W（PDC210/510型）,電極尺寸250×170mm（PDC200/210型）/410×170mm（PDC510型）適用于研究開發(fā)的小型等離子清儀器。
使用等離子的表面處理裝置。著重于“使用簡單”的臺式高性能型號，調(diào)取數(shù)據(jù)簡單，以電子材料為中心，可對應(yīng)多種用途。
PDC200/210/510等離子清儀器用途
?CSP、BGA、COB基板的等離子清洗
?去除有機(jī)膜和金屬氧化膜
?印刷電路基板的干式清洗
?界面活性處理
?LED封裝
?DP模式（PDC510標(biāo)配·PDC200/210選配）
?RIE模式
?均勻性高的電極構(gòu)造
?操作簡單的觸摸屏控制器

雅馬拓等離子清洗機(jī)PDC200產(chǎn)品參數(shù)：

型號	PDC200	PDC210	PDC510
等離子模式	RIE（DP模式選配）		RIE/DP
電極構(gòu)造	平行平板（固定）
高頻輸出	Max300W	Max500W
頻率	13.56MHz
控制·顯示	液晶觸摸屏
反應(yīng)室尺寸	W400×D250×H150mm		W500×D300×H200mm
電極尺寸	W250×D170mm		W400×D200mm
反應(yīng)室材質(zhì)	鋁
反應(yīng)氣體	2系統(tǒng)（Ar、O2）
填充氣體	N2或干燥空氣
反應(yīng)氣體流量控制	流量計(jì)	聚合控制器
真空泵	另行選配	油泵（約345L/分）標(biāo)配	油泵（約500L/分）標(biāo)配
氣體導(dǎo)入口	反應(yīng)氣體2個、填充氣體1個
外形尺寸	W540×D600×H600mm	W540×D600×H600mm	W700×D700×H1285mm
重量	約100kg	約105kg	約180kg
電源	單相AC100V10A	三相AC200V6A	三相AC200V8A

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