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產(chǎn)品中心
產(chǎn)品名稱:

等離子清洗機

描述:雅馬拓等離子清洗機PDC610:小型、多段式等離子清洗儀器,可處理縱型的試料收納盒??蛇x擇RIE/DP模式(采購時)。數(shù)據(jù)記錄器(選配)。
  • 更新時間:2024-06-15
  • 產(chǎn)品型號:PDC610
  • 產(chǎn)品廠地:上海市
  • 訪問次數(shù):929

產(chǎn)品介紹

雅馬拓等離子清洗機PDC610產(chǎn)信息:
小型、多段式等離子清洗儀器,
用途
●提高各種材料的粘接性、表面改質(zhì)處理
●灰化、蝕刻處理
●塑料封裝前處理
●印刷基板鍍層前處理
●LED關(guān)聯(lián)部品處理
●電子部品清洗
●光刻膠剝離或表面殘留物去除
●光學、金屬、機械部品等精密部件的清洗
●包含氟化樹脂的樹脂類產(chǎn)品表面改質(zhì)
●FCC對應(yīng)
特征:
●600W的小型高輸出功率
●電極可選擇1·2·3段(采購時)
●可處理縱型的試料收納盒
●可選擇RIE/DP模式(采購時)
●數(shù)據(jù)記錄器(選配)
●適配點記憶功能(選配)

600W的小型高輸出功率電極可以根據(jù)需求進行1、2、3段變更可以處理縱型收納倉RIE/DP雙工作模式切換調(diào)諧點記憶功能(選配功能)

雅馬拓等離子清洗機PDC610產(chǎn)品參數(shù):

型號PDC610
等離子模式RIE/DP(固定模式)
電極構(gòu)造3段獨立平行平板(固定)
高頻輸出Max600W
頻率13.56MHz
控制·顯示方式PLC·觸摸屏
反應(yīng)腔尺寸W350×D270×H300mm
反應(yīng)腔材質(zhì)A5052
反應(yīng)氣體2系統(tǒng)(Ar、O2)
填充氣體N2或干燥空氣
真空泵油泵(約345L/分)·標配
外形尺寸W600×D722×H700mm
外裝材質(zhì)不銹鋼
電源3相AC20050/60Hz15A

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